晶圓接受測試(WAT)

晶圓接受測試(Wafer Acceptance Test)是在晶圓完成製程前,能否從晶圓廠出貨到下一流程的依據.主要是測試擺在晶圓切割道(Scribe Line)上的測試鍵(Testkey),測試鍵通常設計有許多元件, 如: NMOS及PMOS電晶體,電容, 電阻, N 及Pcontact,Poly contact, Metal line.....等等.

 

測試方法是,用探針卡(Probe card)的針點在測試鍵的Metal Pad上,探針卡接線的另一端接到WAT系統的測試儀器, 由WAT程式自動控制要量測甚麼電性和哪一個元件. 測完某條測試鍵後,WAT程式會控制點針機台(Probing machine),自動移到下一條測試鍵繼續量測, 直到整片晶圓測完, 就換下一片晶圓.